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Aerotech超精密气浮转台

单价(¥): 面议

品牌: Aerotech

规格

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发布日期: 2022年11月22日

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ABRS超精密转台
ABRS气浮轴承精密运动转台拥有一个低矮的外形轮廓，并且能够提供出众的角度定位精度，卓越的速度稳定性以及极小的运动误差。ABRS精密转台的设计应用于硅片检测，高精度测量，激光衍射系统，光学检测和制造以及纳米制造技术。
特点:
1. 无刷无槽力矩电机直接驱动
2. 卓越的速度稳定性（无齿槽效应）
3. 极佳的运动性能，误差小，无抖动
4. 直连式高精度圆光栅反馈
5. 扁平结构设计
6. 气浮轴承，无机械接触
台面直径：128~278mm
反馈分辨率：0.036~0.18 arc sec
双向重复定位精度：<1arc sec
定位精度： 2 arc sec
异步轴跳： 20nm
异步径跳： 20nm