德国SPSPOLOS匀胶机

一、德国SPS POLOS匀胶机SPIN150i产品特点和技术参数：

1、结构：

（1）旋涂腔体直径为202毫米，适用于小尺寸碎片至160 mm 直径圆片或 4" x 4" 方片；

（2）NPP-H（具有α晶的天然聚丙烯）的耐腐蚀结构为整个系统提供更好的刚性和韧性；

（3）旋涂腔室材质为NPP（天然聚丙烯）,特殊应用可选用高耐化学性的PTFE（TFM?）；

（4）高品质无缝制造表面，全工程塑料；

（5）机身尺寸为：274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm，适用于通风厨和手套箱使用；

2、数字电机控制：

（1）具有数字增量速度信号的数字实时闭环控制伺服电机反馈；

（2）允许具有广泛旋转速度参数的用户以更安静的方式进行工作/实验，系统高速运行时更稳定，振动更少；

（3）提供高性能无刷电机，有着高精度的转速（±0.1 rpm）和宽范围的转速（1至12,000 rpm），这是传统PID电机控制器无法实现的；

3、程序配方数目存储不设限，可用于多个步骤的配方，每个配方均适用于：

（1）旋涂时间：0.1至99999秒/步；

（2）旋涂转速：0至12,000 rpm；

（3）旋转方向：顺时针，逆时针，顺、逆时针交换搅动；

（4）旋涂加速度：1至30,000 rpm / sec（每步可选）；

（5）真空：开/关；

（6）3个可编程的干触点：例如用于分配单元，氮气扩散器等的自动控制；

4、设备控制器：

（1）可拆卸的全尺寸触摸屏，手套防护，IP 52，耐化学腐蚀；

（2）彩色触摸屏显示，可轻松编程速度，加速度和时间；

5、安全联锁：

（1）Process Chambe Lid始终为所有用户安全锁定，并且仅在单击盖子打开显示图标时才能打开；

（2）电磁盖联锁在打开时停止旋转，而真空联锁（可编程）在没有足够真空或没有真空的情况下停止旋转，防止伤害使用者并避免基材破裂；

（3）具有国际CE标志和过载保护的电气安全；

6、透明盖：

（1）透明盖清晰可见内部，带有注射器支架和N2扩散器，可手动分配注胶以及在处理过程中进行N2吹扫；

（2）注射器支架可帮助用户始终在期望的相同位置和位置分配抗蚀剂/化学物质；

（3）控制室环境对于恒定的过程结果至关重要；

（4）坚固的自弹式盖铰链，可自动将盖保持在佳状态，以便轻松搬运和卸下基板，同时确保盖子上的残留化学物质都流入系统排水口；

7、连接：

（1）三个可编程继电器输出，可用于操作自动分配系统，外部阀或其他附件。

（2）多种chuck可供选择，适用用于不同尺寸的基板。

8、USB端口：可轻松上传和下载配方以及更新软件版本；

9、存储：结构化和受密码保护的方案存储，可轻松安全地进行管理；

10、配套真空泵系统：无 油 型 220~240伏交流，50/60赫兹；

二、德国SPS POLOS匀胶机SPIN150i应用领域：

1、适应于钙钛矿太阳能电池薄膜制备；

2、半导体芯片制造；

3、MEMS制版的表面涂覆；