紧凑型一体化数字输出光栅
? 安装公差宽松
- 间隙±0.2 mm
- 扭摆±0.9°
? 高速度可达24 m/s 在0.1 ?m分辨率下可达3.63 m/s)
? 抗污性能增强,运行稳定可靠
? 分辨率从10 ?m至50 nm
? 光学 IN-TRAC ? 自动调相参考零位和磁性双限位
? 集成LED安装指示灯
? 自动增益控制(AGC)、自动平衡控制(ABC)和自动偏置控制 (AOC) 确保了一致的信号强度和长期可靠性
? 选配的高级诊断工具 (ADT) ADTi-100可优化安装并协助系统诊断