GWProfile-全自动边缘轮廓检测设备

应用于300mm硅片Notch、Edge形貌检测，厚度尺寸以及直径测量。

【边缘轮廓检测】：
1.Notch形貌---
检测项目:Vw Vr Vh θ v (AngV) P1 P2 R1 R2；
检测区域:Notch部；
产能:55秒/枚，形貌测量项目为Notch形貌或Edge形貌的1点180度）测量.【25枚(1Cassette)测量时、从第1枚晶圆装载開始第25枚晶圆回收完毕为止总计】*不含FOUP Cassette 的开关时间。
2.Edge形貌---
检测项目:X1 X2 Y1 Y2 X3 θ 1 (Ang1) θ 2 (Ang2) R1 R2 ｔ；
检测区域:9点（3 度，45 度，90 度，135 度，180 度，225 度，270 度，315 度，357 度）；
产能:55秒/枚，形貌测量项目为Notch形貌或Edge形貌的1点180度）测量.【25枚(1Cassette)测量时、从第1枚晶圆装载開始第25枚晶圆回收完毕为止总计】*不含FOUP Cassette 的开关时间。

【缺陷种类】：Notch、Edge形状缺陷。
【生产能力】：根据缺陷种类不同每片检测快只需 55S。
【菜单功能】：可编辑检测菜单，并进行参数保存与导出。
【检测范围】：Notch、Edge
【检测对象】：8~12寸 硅片