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GWE-全自动硅片边缘缺陷检测设备
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GWE-全自动硅片边缘缺陷检测设备
单价(¥)
1.00
品牌
无
规格
GWE
库存
100
最小起订量
≥1台
发布日期
2024年3月5日
详情
可对应300mm硅片的边缘的缺陷检测。
【边缘检测】:对硅片外周(Bevel)进行非接触式高速检测。画像处理根据预先设定的参数条件自动提取各种缺陷,并判定是否合格。
【缺陷种类】:边缘部:scratch,chip ; V-notch:scratch,chip
【生产能力】:根据缺陷种类不同每片检测快只需20S。
【菜单功能】:可编辑检测菜单,并进行参数保存与导出。
【检测范围】:边缘,V-notch
【检测对象】:12寸抛光片
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