< >

GWS-全自动硅片外延缺陷检测设备

单价(¥): 1.00

品牌: 无

规格: GWS

库存: 100

最小起订量: ≥1台

发布日期: 2024年3月5日

详情

应用于300mm硅片外延层的滑移线，背面光晕和划痕等缺陷检测。

【外延缺陷检测】
1.表面检测---
检测对象缺陷:结晶缺陷；
检测区域:晶圆全面晶圆外周～50mm范围内任意5mm；
产能:55秒/枚[25枚(1Cassette)测量时、从第1枚晶圆装载開始第25枚晶圆回收完毕为止总计]*不含FOUP Cassette 的开关时间。

2.背面检测---
检测对象缺陷:光斑、划痕、Edge亮点；
检测区域:晶圆全面不含外周3ｍｍ；
产能:55秒/枚[25枚(1Cassette)测量时、从第1枚晶圆装载開始第25枚晶圆回收完毕为止总计]*不含FOUP Cassette 的开关时间。

【检测对象】：8~12寸抛光片&外延片
【生产能力】：根据缺陷种类不同每片检测快只需40S。
【菜单功能】：可编辑检测菜单，并进行参数保存与导出。
【检测范围】：边缘以外区域。